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氦气流量计

HLMFM氦气流量计

HLMFM氦气流量计
  • 型号:HLMFM
  • 品牌:华陆
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氦气流量计,氦气密度极小,为0.1786g/L,氦气广泛应用于军工、科研、石化、制冷、医疗、半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、高精度焊接、光电子产品生产等,HLMFM质量流量计适合用于测量氦气流量,典型客户:上海交通大学,中科院上海微系统与信息技术研究所。

                                             涡轮流量计,气体涡轮流量计,罗茨流量计

HLMFM质量流量计传感器采用微机械加工技术,实现微小流量测量,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

工作原理:

感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作,在芯片上,一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的特有工艺制作的镂空桥面上,采用这这样的桥式方式制作有利于热传导,使动态响应时间大大提高,当传感器工作时,微热源与环境温度之间保持一定的温差(通常是70℃),在芯片周围形成固定的温度场分布,如果气体是单向流动,则在气道中温度场可用下述公式来计算:

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式中:气体流动方向为x,速度为v,a为扩散率。如上图(式)所示,当气体流过芯片时,将会带走热量,通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。

产品特点:

·产品集成度高,集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体,并可实现自动调节、控制阀门

·微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术,使流量计的微流量测量灵敏度显著提升

·微小流量气体测量,ml/min级的微流量测控,实现微小流量测量的数字化

·单个芯片的卓越流量特性的微处理技术,使流量计的量程范围大大提高

·机电一体化优化设计,智能化的数据处理技术,使流量计具有更好的重复性,实现了计量的准确、可靠

·结构的优化,流量计的压力损失达到最小化

·采用国际最新的传感技术,使流量计工作更稳定、可靠

·独创零点自校功能,测量更准确

·多种气体实际标定,全量程补偿

·快速响应、数据自动存储,配合上位机可实现网络集中管理

·规格齐全,量程范围宽,可根据用户要求单独标定

·精度等级高,满足用户高精度测量要求

·独有的流量计报警功能,使监控更可靠

·操作、设置界面友好、简便,可根据需要自行设定相关参数

·运用行业多,是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的首选

技术参数:

·测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)

·测量管径:DN3,6,8,10

·流量范围:DN3   30-300ml/min

                DN6   60-600ml/min

                DN8   80-800ml/min

                DN10  100-1000ml/min ;10,20,30,50,80,100SLPM量程可选。        

·流量测量准确度:±1.5%FS;±2.5%FS

·工作温度范围:-25℃-55℃

·工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa,3.0MPa

·供电电源:24VDC±10%

·输出信号:4-20mA,RS485通讯

·环境温度:-25℃-55℃

外观尺寸

                涡轮流量计,气体涡轮流量计,流量计厂家

 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

 

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点击次数:  更新时间:2018-08-15  【打印此页】  【关闭

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